Optics

Die MPI iMAG®Serie sind einzigartige hochauflösende digitale Bildgebungssysteme, die speziell für manuelle und automatisierte Prober von MPI entwickelt wurden. Sie bieten eine unübertroffene Farbbildqualität und eine ultraschnelle Bildrate für optimale und komfortable Wafernavigation.
Der große quadratische 1,1-Zoll-Sensor mit 6,55 MP liefert das maximal mögliche optische Sichtfeld (FOV) ohne Randschatteneffekte. iMAG®-II kombiniert zusätzlich einen 12-MP-Sensor für bestmögliches Auflösungsvermögen.
Perfekt in die MPI SENTIO® Prober Control Software Suite integriert, bietet iMAG® neben automatisierten Funktionen (Fokus, Wafer Alignment, Indexerkennung und Wafermap-Generierung, laterale Die und vertikale Z on-the-fly Korrekturen) auch SENTIO® typische Multi-Touch Funktionalitäten wie Point-and-Shoot, Flick, Pan und Digitalzoom.

Die Einzeltubus-Lösungen wie SuperZoom™ SZ10 oder MegaZoom™ MZ12 bieten einen großen Arbeitsabstand bei hohen Vergrößerungen. Kleine Formfaktoren sind ideal für HF-, mmW- und Load-Pull-Anwendungen aufgrund von Platzbeschränkungen bei der Integration von Prüfköpfen/Tunern, die einen möglichst geringen Abstand zum Prüfling erfordern.
Das automatische MegaZoom™ AMZ12 ist die ideale Wahl für automatisierte MPI-Prober und bietet eine programmierbare Zoom-Funktionalität, die von der SENTIO® Software Suite gesteuert wird.

Das einzigartige MPI EyeZoom™ EZ10 Mikroskop mit ergonomisch konstruiertem trinokularem Okulartubus und 10x optischem Zoom bietet ein exzellentes optisches Auflösungsvermögen von bis zu 2 µm bei einem Arbeitsabstand von 90 mm für den stressfreien Austausch von Sonden, Kabeln und verschiedenen HF-Sonden. Die optionale Ringlicht-Beleuchtung (zusätzlich zum Koaxiallicht) für hervorragende Sichtbarkeit auf unterschiedlichen Materialien, wie Kalibrierstandards und verschiedenen Waferpads, macht dieses Mikroskop zur optimalen Wahl für alle HF-, mmW- und Load-Pull-Messungen.