Wir freuen uns auf Ihren Besuch am Stand 449 in Halle 6.

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Die PCIM ist eine der wichtigsten Messen in Deutschland für High Power Technik. Neben eigenen entwickelten Produkten wie dem PIV 1000-B und der Protection Unit, werden wir auch Produkte unserer Distributionspartner Celadon Systems, Inc., der MPI Corporation und Keithley Instruments vorstellen.

An unserem Stand zeigen wir:

• die ATV Voltage Protection & Limiter Unit VPL3100
• die ATV SwitchBox zur gleichzeitigen Messung mit 3kV und 100A
• Keithleys Hochstrom-/Hochvolt-SMUs 2651A und 2657A
• Keithley 4200A Parameter Analyzer
• MPI Probe System TS200-HP
• die neue 3kV Nadelkarte von Celadon Systems

ATV HVC Switch für automatisierte Messungen mit 3kV und 100A

Die AutomatisierungsTechnik Voigt GmbH (ATV) bringt mit der HVC Switch 3kV und 100A Quellen zusammen, um automatisierte Messungen von Power-Leistungsbauelementen (z.B. Mosfet-Transistoren) auf Wafer-Level sowie an verkappten Bauelementen zu realisieren.

Die eigens konstruierte HVC Switch schaltet wechselseitig die Hochspannungs- sowie die Hochstrom-SMU auf das zu messende Bauelement. Der Switch arbeitet als ein 4-poliger Umschalter, der Sperrstrom- und RDS(on)-Messungen in einem Antastvorgang ermöglicht.

Um die Performance der Keithley-Messgeräte auf das zu messende DUT schalten zu können, wurde auf höchste Isolation und geringe Durchschaltimpedanzen geachtet. Dazu verwendet die ATV einen triaxialen Design und gewährleistet somit genaueste Messungen.

Es können damit Leckstrom-, RDS(on)- und Threshold (Vth)-Messungen durchgeführt werden. Die Box ist kompatibel in der Verwendung mit Triax-Probe-Armen sowie für Hochstromsonden mit Bananenstecker. Die Steuerung des HVC Switch erfolgt über RS232 von der HV-SMU oder einem Steuer-PC.

Keithley 4200A Parameter Analyzer

Der 4200A-SCS ist ein modular, aufgebauter Parameteranalysator, der elektrische Charakterisierung von  BEs realisiert. Dabei sind Strom-Spannung (I-U), Kapazität-Spannung (C-U) und ultraschnelle gepulste Strom-Spannung-Charakterisierung (I-U) möglich. Das spezielle Schaltmodul 4200A-CVIV ermöglicht den mühelosen Wechsel zwischen I-U- und C-U-Messungen. Der leistungsfähigste Analysator, der 4200A-SCS, beschleunigt die Prüfung komplexer Bauelemente in der Werkstoffforschung, bei der Entwicklung von Halbleiterbauelementen und in der Prozessentwicklung und Produktion.

MPI High Power Probe Systeme

MPI High-Power Probe Systeme sind speziell für die Prüfung von On-Wafer-Leistungsbauelemente konzipiert. Diese Systeme bieten eine sichere und geschirmte Meßumgebung bis zu 10 kV und 600 A.

Mit den High Power Probern TS150-HP und TS200-HP haben Sie haben Sie folgende Vorteile:

• Hochspannungsisolation für kleinste Leckströme
• Geringste Übergangswiderstände für Hochstromanwendungen
• Sichere und TÜV zertifizierte Arbeitsumgebung für den Bediener
• Handling extra-dünner Wafer
• Komplette Integration verschiedester Messinstrumente
• Testumgebung von -60°C bis 300°C

Celadon High Voltage Probe Card

Celadon Systems hat sein Portfolio um eine 3kV fähige Nadelkarte erweitert. Auf Basis der modularen VersaCore Technologie können jetzt bis zu 12 Kanäle mit bis zu 3kV konfiguriert werden. Die Arbeitstemperatur der Karte von -60°C bis 200°C wird dadurch nicht eingeschränkt.

Die Karten können zusätzlich mit einem Modul zur Reduzierung oder Vermeidung von Hochspannungsüberschlägen auf dem Wafer und den Nadeln ausgestattet werden.